|
Инновационно-технический центр научные приборы |
|||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Координаты и контакты |
Rus|Eng |
|||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Приставка ПДП-1 для двухкристального картирования монокристаллических пластинПриставка ПДП-1 (рис.1) с пятью степенями свободы к рентгеновскому дифрактометру ДРОН-3(4, 6, УМ1) предназначена для автоматического картирования монокристаллических пластин и эпитаксиальных структур по дифракционным характеристикам двухкристальных кривых качания. Приставка ПДП-1 включает в себя модернизацию гониометра ГУР-8 или ГУР-9 (два шаговых двигателя, два угловых датчика и новый редуктор), новую стойку рентгеновской трубки, новую стойку коллиматора (монохроматора), оригинальный сцинтилляционный детектор на новом кронштейне, специализированный компактный блок управления и оригинальное программное обеспечение.
Рис.1. Общий вид приставки ПДП-1 на дифрактометре ДРОН-3. Основные технические характеристики прибора.
Принцип работы и устройство приставки ПДП-1 Приставка ПДП-1 (Приставка Двухкристальная для Пластин) превращает дифрактометр ДРОН с гониометром ГУР-8(9) в автоматический двухкристальный дифрактометр высокого разрешения, который позволяет не только снимать кривые качания от монокристаллических пластин, но и производить пространственное картирование образцов диаметром до 200 мм. Специальная программа автоматически перемещает образец от одного участка к другому по заданной карте, собирает данные, обрабатывает кривые качания и сохраняет результаты на жестком диске компьютера. Каждая кривая качания выводится на монитор в реальном времени и сохраняется на жестком диске. Рентгенооптическая схема дифрактометра с приставкой ПДП-1 представлена на рис.2, а 3D-модель - на рис.3. Блок управления дифрактометром с приставкой ПДП-1 размещается на отдельном столе рядом с управляющим компьютером. Он представляет собой крейт евроконструктива шириной 19" и высотой 6U. Управление приставкой осуществляется по каналу USB. Приставка ПДП-1 опробована на дифрактометре ДРОН-3 для картирования эпитаксиальных структур кремния на сапфире. По требованию заказчика, приставка и её программное обеспечение могут быть адаптированы для контроля тех или иных материалов.
Рис.2. Рентгенооптическая схема дифрактометра с приставкой ПДП-1.
Рис.3. 3D-модель приставки ПДП-1 к рентгеновскому дифрактометру с гониометром ГУР-8(9).
|
||||||||||||||||||||||||||||||||||||||