Инновационно-технический центр

 научные приборы

О компании

Продукция

  Координаты и контакты

Rus|Eng

Приставка ПДП-1 для двухкристального картирования монокристаллических пластин

            Приставка ПДП-1 (рис.1) с пятью степенями свободы к рентгеновскому дифрактометру ДРОН-3(4, 6, УМ1) предназначена для автоматического картирования монокристаллических пластин и эпитаксиальных структур по дифракционным характеристикам двухкристальных кривых качания. Приставка ПДП-1 включает в себя модернизацию гониометра ГУР-8 или ГУР-9 (два шаговых двигателя, два угловых датчика и новый редуктор), новую стойку рентгеновской трубки, новую стойку коллиматора (монохроматора), оригинальный сцинтилляционный детектор на новом кронштейне, специализированный компактный блок управления и оригинальное программное обеспечение.     

Рис.1. Общий вид приставки ПДП-1 на дифрактометре ДРОН-3.

Основные технические характеристики прибора.

Размеры ( в сборе с гониометром и трубкой на плите )

1110x845x813(высота)  мм

Питание

220 В 50 – 60 Hz

Потребляемая электрическая мощность блока управления, не более

170 Вт, не считая компьютера

Рентгеновская трубка

1.2БСВ29 – Cu

Охлаждение рентгеновской трубки

проточная вода от водопровода или от автономной системы рефрижераторного типа

Диапазоны углов поворота и линейных перемещений:

-          2ТЭТАD (привод детектора)

-          ТЭТАT (привод образца)

-          ФИ  гониометр

-          Х – столик

-          Z – столик

-          Y – координата

-          ХИ  наклон

 

–5° … 140°

–1.5° … 185°

–95° … +95°

–100…+100мм

–100…+100мм

–5 … +5 мм

–10° … +10°

Характеристики автоматических перемещений:

-         независимые шаговые приводы осей гониометра ГУР-8(9)

-         минимальный (половинный) шаг по оси ТЭТА, град.

-         минимальный (половинный) шаг по оси 2ТЭТА, град.

-         максимальная скорость вращения двигателей ТЭТА и 2ТЭТА, половинный шаг/сек

-         минимальный (половинный) шаг привода оси Х, мм

-         минимальный (половинный) шаг привода оси Z, мм

-         минимальный (половинный) шаг привода оси Y, мм

-         минимальный (половинный) шаг привода оси ФИ, град.

-         минимальный (половинный) шаг привода оси ХИ, град.

 

есть

0.00025

0.0005

10000

 

0.0025

0.0025

0.0025

0.005

~0.0021

Дискретность угловых датчиков по ТЭТА и 2ТЭТА (на осях червяков), град.

0.0005

Диапазон интенсивностей, регистрируемых детектором, имп/сек

1-600000

Экспозиция в режиме счëта импульсов, с

0.1 - 500

Диаметр пластины

30 - 200мм

Толщина пластины

0.2 - 1.5 мм

Допустимая разориентация пластины (для автоматической ориентации)

1.5°

Диаметр входного окна сцинтилляционного детектора

24 мм

Минимальное расстояние от оси гониометра до входного окна детектора

136 мм

Программное обеспечение

Radicon Device Programming Workbench (RDPW)

 

Принцип работы и устройство приставки ПДП-1

        Приставка ПДП-1 (Приставка Двухкристальная для Пластин) превращает дифрактометр ДРОН с гониометром ГУР-8(9) в автоматический двухкристальный дифрактометр высокого разрешения, который позволяет не только снимать кривые качания от монокристаллических пластин, но и производить пространственное картирование образцов диаметром до 200 мм. Специальная программа автоматически перемещает образец от одного участка к другому по заданной карте, собирает данные, обрабатывает кривые качания и сохраняет результаты на жестком диске компьютера. Каждая кривая качания выводится на монитор в реальном времени и сохраняется на жестком диске.

Рентгенооптическая схема дифрактометра с приставкой ПДП-1 представлена на рис.2, а 3D-модель - на рис.3.

Блок управления дифрактометром с приставкой ПДП-1 размещается на отдельном столе рядом с управляющим компьютером. Он представляет собой крейт евроконструктива шириной 19" и высотой 6U. Управление приставкой осуществляется по каналу  USB.

Приставка ПДП-1 опробована на дифрактометре ДРОН-3 для картирования эпитаксиальных структур кремния на сапфире. По требованию заказчика, приставка и её программное обеспечение могут быть адаптированы для контроля тех или иных материалов.

Рис.2. Рентгенооптическая схема дифрактометра с приставкой ПДП-1.

Рис.3. 3D-модель приставки ПДП-1 к рентгеновскому дифрактометру с гониометром ГУР-8(9).

 

На главную

Вэбмастер