|
Инновационно-технический центр научные приборы |
|||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Координаты и контакты |
Rus|Eng |
|||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Двухкристальный рентгеновский дифрактометр ДСО-1 (DSO-1) для анализа монокристалловДвухкристальный рентгеновский дифрактометр ДСО-1 (DSO-1) предназначен для автоматического измерения ряда структурных характеристик полупроводниковых пластин: структурного совершенства образцов по кривым качания, параметров решëтки, профиля деформации приповерхностной структуры и др. Он позволяет также определять ориентацию кристаллов.
Рис.1. Общий вид дифрактометра ДСО-1 (DSO-1) и кривая дифракционного отражения сверхрешëтки GaAs/AlAs на Ge(001) - симметричное отражение 400, излучение CuK-альфа. Верхняя кривая - без щели перед детектором, нижняя - со щелью 0.2 мм. Сканирование ТЭТА-2ТЭТА. Двухкристальный дифрактометр ДСО-1 - это экономичное и эффективное решение задач полупроводникового материаловедения. Автоматический 5-осный гониометр (ТЭТА-2ТЭТА-ФИ-X-Y) на базе надëжного гониометра ГУР-9 (рис.2) позволяет минимизировать ручные настройки и обеспечивает картирование (mapping) образов диаметром до 150 мм. Наличие визуальной шкалы облегчает инициализацию гониометра, а наличие маховиков на осях шаговых двигателей допускает ручное перемещение образца и детектора. Далеко разнесëнные оси настраиваемого монохроматора и образца (рис.3) позволяют использовать очень большие углы дифракции монохроматора (вплоть до 80°) и образца (до 67°) как в симметричной, так и в асимметричной геометрии и, тем самым, достичь высокой чувствительности к структурным нарушениям. Оригинальное программное обеспечение RDPW с редактором макросов обеспечивает исключительную гибкость в задачах сбора и обработки данных для квалифицированных пользователей. С другой стороны, возможно использование упрощëнного интерфейса, который позволяет низкоквалифицированным пользователям быстро освоить технику сбора данных в рутинных задачах. Доступность модулей блока управления обеспечивает высокую ремонтопригодность электроники дифрактометра, а также позволяет контролировать состояние ряда ключевых модулей по световым индикаторам. Наличие звуковой индикации излучения существенно облегчает юстировку и контроль работы дифрактометра. Управление высоковольтным генератором, как и гониометром, осуществляется с персонального компьютера. При этом программное обеспечение позволяет, при необходимости, управлять каждым устройством по отдельности. Система блокировок обеспечивает надëжную биологическую защиту персонала, а также защиту рентгеновской трубки от перегрева в случае сбоя системы водяного охлаждения и реле протока жидкости. Защитный кожух рентгеновской трубки рассчитан на трубки европейского стандарта. Регулируемые щели на падающем и дифрагированном пучках позволяют сформировать любую геометрию сечения пучка в пределах 10х10 мм. Изменяемое расстояние до входной щели детектора (до 300 мм) позволяет анализировать диффузное рассеяние от образца без кристалла-анализатора за счëт сканирования узкой щелью. Опциональное использование монохроматора Бартельса (рис.4) обеспечивает формирование исключительно узкого спектрального интервала падающего пучка, что позволяет анализировать любые монокристаллы без подбора монохроматора. Использование (опционально) прорезного кристалла-анализатора позволяет в полной мере реализовать на данном дифрактометре трëхкристальную схему и проводить картирование в обратном пространстве (reciprocal space mapping). Основные характеристики прибора.
Рис.2. Дифрактометрическая часть ДСО-1 на базе ГУР-9.
Рис.3. Рентгенооптическая схема двухкристального дифрактометра ДСО-1.
Рис.4. Схема монохроматора Бартельса из двух прорезных кристаллов.
|
||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||