|
Инновационно-технический центр научные приборы |
|||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Координаты и контакты |
Rus|Eng |
|||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Рентгеновский дифрактометр ДСО-2Г (DSO-2H) для уточнения ориентации кристаллов кремнияРентгеновский дифрактометр ДСО-2Г (рис.1) предназначен для автоматического уточнения ориентации монокристаллов кремния относительно поверхности кристалла, для полуавтоматического уточнения разориентации геометрической и кристаллографической осей, а также для ручного определения и автоматического уточнения ориентации базового среза. Метод измерения основан на анализе дифракционных отражений, получаемых при вращении маломощного источника рентгеновского излучения около анализируемой поверхности неподвижного монокристалла. При этом пространственное положение анализируемой поверхности определяется с помощью лазерного датчика расстояния.
Рис.1. Общий вид дифрактометра ДСО-2Г (DSO-2H). Основные характеристики прибора.
Принцип работы и устройство дифрактометра Схема рентенооптической части дифрактометра представлена на рис.2.
Рис.2. Рентгенооптическая схема дифрактометра ДСО-2Г (DSO-2H). Уточнение ориентации угла среза кристаллов кремния осуществляется с использованием симметричных отражений от торца слитка ( рис 2). Коллиматор и рентгеновская трубка 0.01БС18Cu размещены на общей каретке, образуя блок рентгеновского излучателя БРИ. Поиск отражения осуществляется путем сканирования около ожидаемого рефлекса в интервале ± 3° (при необходимости - до ±10°). Одновременно с помощью лазерного дальномера регистрируется расстояние до поверхности кристалла. Положение рефлекса определяется по его середине на полувысоте. Затем гониометр поворачивается на 90° и поиск рефлекса повторяется. При этом фиксируется второе значение расстояния до кристалла. Затем гониометр снова поворачивается на 90° в ту же сторону. На этот раз регистрируется третье значение расстояния до кристалла и определяется третье положение дифракционного максимума. Следующий поворот на 90° позволяет определить четвертое значение положения дифракционного пика. Программное обеспечение дифрактометра позволяет автоматически обработать результаты измерений и выдать результат в удобном для пользователя виде, а также сохранить соответствующий файл. Уточнение разориентации геометрической и кристаллографической осей осуществляется путем сканирования БРИ в двух положениях гониометра (0 и 180°) для трех угловых положений кристалла относительно его геометрической оси (0, 90 и 180°). Для поиска направления базового среза 110 или 100 на калиброванных слитках гониометр поворачивается в вертикальное положение, а БРИ и детектор устанавливаются в положение регистрации отражения 440 или 400 по заданной программе. Кристалл на каретке размещается боком к гониометру (вручную, с помощью поворотного стола). Далее оператор вручную поворачивает кристалл на каретке (на специальных роликах) вокруг его геометрической оси до получения максимума отражения. После этого на торце слитка делается метка с помощью рейсшины или специального шаблона. Уточнение ориентации выполненного базового среза или контроль квадратированных кристаллов производится аналогично уточнению ориентации торцов кристалла с той разницей, что ТЭТА-ТЭТА-гониометр поворачивается вокруг ФИ-оси относительно вертикального положения.
|
||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||